플라즈마 주입 폼 표면 처리 장비
반도체 및 광전자 산업에 설계된 고급 플라즈마 청소 기계,독일 핵 플라즈마 기술과 정밀 엔지니어링으로 뛰어난 표면 처리 성능을 제공합니다..
제품 개요
이 콤팩트 한 진공 플라즈마 청소 기계 는 인덕티브 큐플링 기술 을 이용 하고 있으며, 마이크로 웨브 튜브 와 부품 을 단열 하는 데 탁월 합니다.높은 청결 기준을 요구하는 민감한 제품을 처리하는 데 이상적입니다., 그것은 효과적으로 플라스틱, 생화학 물질, PDMS, 유리, 금속 반도체, 세라믹, 복합물, 폴리머 및 다른 물질을 처리수분성 향상, 표면 특성을 수정하고 결합력을 향상시킵니다.
주요 특징
- 소규모 생산 및 과학 연구 응용 프로그램에 최적화
- 간편한 조작 및 유지 보수
- 신뢰성 높은 성능을 위한 독일 핵 플라즈마 기술
- 부식 저항성 수입 316 스테인레스 스틸 건축물
- 수입 바늘 밸브로 정밀 흐름 조절
- 다재다능한 용도로 사용되는 듀얼 프로세스 반응성 가스 채널
- 특정 요구 사항에 대한 사용자 정의 옵션
기술 사양
| 매개 변수 |
사양 |
| 진공 정도 |
30Pa-100Pa |
| 가스 흐름 |
0-100ml/s |
| 청소 시간 |
조정 가능 (1-9999s) |
| 냉각 모드 |
공기 냉각 |
| 가스 채널 |
양방향 가스 (아르고, 수소, 산소, 질소, 공기 등) |
| 제어 시스템 |
PLC + 터치 화면 |
| 진공 공간 온도 |
< 50 °C |
| 진공 펌프 |
오일 펌프/드라이 펌프 (선택) |
| 전원 공급 |
AC220V (± 10V) |
특수 장비는 다양한 재료 형태, 크기 및 생산 용량 요구 사항에 맞게 사용자 정의 할 수 있습니다.
장비 부품
플라즈마 정화 시스템은 다섯 가지 주요 구성 요소로 구성됩니다.
- 반응실:진공 챔버와 전극으로 구성되어 있으며, 가공용품을 위한 플라즈마 반응 공간을 제공한다
- 진공 시스템:진공 측정기, 진공 펌프, 공기 대피 및 최적의 진공 수준을 유지하기 위해 파이프 포함
- 방출 시스템:반응 가스 이온화를 흥분시키고 필요한 플라스마를 생성하는 에너지를 공급합니다.
- 전자 제어 시스템:최적의 프로세스 매개 변수에 따라 장비 작동을 제어하고 안정성을 유지합니다.
- 입수 흐름 제어 시스템:특징 가스 흐름 조절 및 진공 유지에 필요한 흐름 미터 및 전자기 밸브
운영 절차
- 진공 방의 문을 열고, 처리하기 위해 항목을 배치, 그리고 안전하게 문을 닫습니다
- 터치 화면 인터페이스를 통해 주 전원 스위치를 활성화하고 매개 변수를 구성
- 장비는 설정된 매개 변수를 자동으로 실행합니다 (실공 → 공기 입수 → 배열 → 빈)
- 버저 신호 처리 순환 완료
- 방문을 열고 가공된 물건들을 꺼내
플라즈마 기술 원칙
플라즈마 소개
플라즈마는 고에너지 입자를 이용해서 표면 활성화,그리고 물리적, 화학적 반응으로 오염을 제거합니다., 마찰 계수, 접착력 및 수분 친화성 등 재료 표면 특성을 향상시킵니다.
플라즈마 정화 효과
플라즈마 정화 기술은 낮은 온도의 플라즈마 특성을 이용해 화학적, 물리적으로 깨끗한 물질 표면을 만들어 부드러움을 높이고 새로운 화학적 기능 그룹을 이식합니다.그리고 정밀한 발각을 가능하게 합니다..
표면 청소 및 활성화
기능 그룹 구성
방출된 가스에 반응 가스를 도입하면 활성 물질 표면에 복잡한 화학 반응이 발생하여 하이드카르빌, 아미도겐,표면 활성도를 현저히 증가시키는 탄산화물.
플라즈마 에칭
플라즈마 에칭은 선택된 기체와 고체 표면 물질에서 플라즈마를 생성함으로써 생성되는 휘발성 가시 물질을 제거합니다. 이 반응성 플라즈마 프로세스는 높은 에칭 속도와 균일성을 제공합니다.플라즈마 매개 변수가 발열 효과에 중대한 영향을 미치는 경우.
플라즈마 정화 과정
플라즈마 정화 의 장점
- 전통적인 습기 청소에 환경 친화적 인 대안 (VOC 없는)
- 반응 매체 (산소) 로 가스를 사용하는 낮은 운영 비용
- 물질적 차별 없이 광범위한 응용 분야
- 자동화 기능으로 높은 청소 효율성
- 오염 제거와 표면 특성의 향상 동시에
성능 비교
접촉 각 측정은 고체 표면에 액체의 습성도를 결정합니다. 90° 이하의 각은 더 작은 각에서 더 나은 습성을 가진 수성애 표면을 나타냅니다.90° 이상의 각도에서 수분 혐오적 특성을 나타냅니다..
다이너 값 측정은 인쇄, 코팅, 라미네팅 및 용접 응용 분야에서 재료 표면 접착 능력을 평가합니다.더 높은 다이네 값은 다른 재료와 비교하여 더 나은 접착 성능을 나타냅니다..
일반 응용 프로그램
접착 성질을 향상시키기 위해 폴리머 재료의 표면 수정
결합 품질 및 효율성을 향상시키기 위해 전자 부품에서 산화물 잔류를 제거
유리 기판 유기 오염물질 제거
금속 표면 기름 제거
그래핀 및 분말 청소 수정
PDMS 표면 활성화 결합
품질 보장 및 서비스
보증 기간 내내 기술 지원과 함께 1 년의 포괄적 인 보증. 최적의 장비 운영 및 유지 보수를 위해 완전한 문서 및 교육이 제공됩니다.
- 회로, 가스 회로 및 파이프 라인 다이어그램과 함께 운영, 시공 및 유지 보수 설명서를 포함한 완전한 기술 문서
- 설치 준비 지침
- 일반 운영, 수리, 유지보수, 문제 분석 및 비상 절차를 포함하는 포괄적인 원격 교육
- 기술 지원 및 연락처와 함께 보증 문서
귀하의 메시지는 20-3,000 자 사이 여야합니다!